1. 랩스케일용 탄소건식정제시스템

1) 구성품 특징 : 기본적인 CVD 시스템을 기반으로, Cl2 등 특수가스가 적용되더라도, 장비 운용에 문제가 없고, 안전성을 확보하는 시스템임.
2) 사용되는 기체 : Cl2, Ar, N2 외에 실험 목적에 따라 추가로 적용 가능한 시스템
· End Chamber #1, #2
- Stainless steel 316L, Surface Treatment
(Electro polishing, Teflon coating)
- Support Braket, Port, Slinding type door
- Quartz sealing flange, compression ring&O-ring
- Pressure relief valve
· Chamber moving rail & frame (Vertical type)
· Gas supply unit
- Mass flow controller 3
· Vacuum measurement unit
- Vacuum gauge
· Capacitance manometer
· Quartz tube
· Pumping unit
- Rotary pump
- Angle valve
· Furnace & Controller (Process)
· System control unit (Separation type)
· FFKM/Perfluoroelastomer) seal