Horiba
Smart SE
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 광파발생/측정장비 > 타원계
2022-10-27
85,800,000원
기관의뢰
고정형
건별
[KG] 43,300원
반도체용 웨이퍼 위 또는 디스플레이 패널에 증착된 박막의 두께를 비파괴적으로 측정하는 장비임.
양자점 필름 위 혹은 다른 여러 광학 필름의 제조 공정 이후 형성된 박막의 제원 평가에 사용함.
○ 파장영역 450~1000 nm,
○ 분해능 0.4nm 이하
○ 입사각 : Ψ(Psi) < 45° : ±0.05° Δ(delta) <0° ±0.2°
○ 두께 100nm standard : Accuracy : 0.4%, Repeatability 0.02%