1) 위치 제어 범위
① X 범위 : ± 300 mm 이상
② Y 범위 : ± 300 mm 이상
③ Z 범위 : ± 100 mm 이상
2) 회전 제어 범위:
① X축 회전(Roll) : ± 10°이상(수동제어)
② Y축 회전(Pitch) : ± 5°이상(수동제어)
③ Z축 회전(Yaw) : ± 45°이상(수동제어)
3) 위치 제어 분해능 : 0.1mm 이하
4) 위치 제어 정확도 : ±0.5mm 이내
5) 위치결정 최대 오차: ± 0.5 mm 이내