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- i-Tube No. 2205-C-0185
- NTIS No
- 설치기관 숙명여자대학교산학협력단
- 주소 서울 용산구 청파동2가 숙명여자대학교
- 담당자 김봉준 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
(주)엔씨디
-
모델 명
Lucida D100
내용연수9년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 원자층증착장비
장비활용범위공동활용허용
-
취득일
2022-05-04
취득금액39,103,500원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
-
사용료 형태장비 사용료
원
장비설명
박막을 원자층 단위로 증착 할 수 있으며, 형성된 박막의 uniformity가 우수하고, 원자 두께 단위로 제어가 가능.
Al2O3, ZnO, HfO2, ZrO2, TiO2 등 다양한 무기 박막을 정밀하게 적층 할 수 있는 장비.
장비 구성 및 성능
- 기판 사이즈: 100mm ~ 200mm
- 기판 온도: 25℃ ~ 350℃
- 전구체 소스: 3개
- 증착메커니즘: 진행파형
- 증착 균일성: <±2%
- 장비 사이즈: 950 * 700 mm
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
i-Tube 대표문의 : 1811-9126 / KIAT 대표 콜센터 : 02-6009-3000
