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- i-Tube No. 2203-D-0036
- NTIS No NFEC-2022-03-277305
- 설치기관 충북대학교산학협력단
- 주소 충청북도 청주시 서원구 충대로 1 (개신동, 충북대학교)
- 담당자 김가현 (T. 052-217-2954 )
- 매뉴얼
-
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장비정보
-
제작사
Semilab
-
모델 명
DLS-1000
내용연수11년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
전기·전자장비 > 측정시험장비 > 광/LED/반도체/디스플레이측정시험장비
장비활용범위공동활용허용
-
취득일
2022-03-02
취득금액210,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태설치형태
이동형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료1,000원
장비설명
- 극미량의 오염 물질 검출을 위한 최고 감도(2x108atoms/cm3 미만): 109atoms/cm3까지
- 불순물 식별 및 농도의 깊이 프로파일 분석
- 열 활성화 공정: 저온 유지 장치 필요(액체 질소 또는 헬륨 온도까지)
- 접합 기법: 시료 전처리가 필요 (쇼트키 다이오드, pn 접합, MOS)
- 전기적 활성 결함: 전기적 또는 광학적 여기 사용
장비 구성 및 성능
- 고감도 깊은준위 천이분석 장비 (탐지한계 2x10^8 atoms/cm^3)
- 태양전지 분석용 광학적 DLTS (LED광원)
- 태양전지의 작동 상황에서 2x10^8 수준의 결함준위 분석
- 액체질소 bath type cryostat (온도범위 80K-450K)
- Transient 결과 성분분석, CV, IV 및 주파수 컨트롤
- Bias Pulse, Pulse Sequence 생성 및 Capacitance Compensator
- 반도체 결함준위 라이브러리
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
i-Tube 대표문의 : 1811-9126 / KIAT 대표 콜센터 : 02-6009-3000
