1. ICP-MS 시스템
(1) 시료주입시스템
기본적인 분무시스템은 MicroMist타입이며 온도조절이 가능한 안개상자와 10개의 롤러로 구동되는 정확한 연동펌프 시스템

(2) 라디오파 생성기
1) 주파수 : 27.12MHz
2) 구동전력 : 500W - 1600W, 10W씩 조절가능.
3) 제어방식 : 유지보수가 필요없는 크리스탈 컨트롤 방식으로 다양한 시료에 따른 주파수 변화에 실시간으로 맞추어 안정된 플라즈마를 생성함. 휘발성유기용매를 포함한 다양한 시료 매질의 변화에 실시간 매칭 방식.

(3) 이온 렌즈 : 게이트밸브 앞에 위치하는 이온렌즈는 유지보수가 간편하고 진공상태의 기기를 진공의 파괴없이 분해하여 세척할 수 있음

(4) 시료 인터페이스
1) 샘플링 콘 : 내경 1.0mm의 니켈 재질이며 스크류 타입으로 공구없이 손쉽게 교체가 가능함. 여러 사용자에 의한 교체에도 항상 같은 위치에 변화없이 장착되어 재현성있는 위치 조절 방식.
2) 스키머 콘 : 내경 0.4mm의 니켈 재질, 작은 내경의 스키머 콘은 고진공의 영역이 고매질 시료에 의해 오염되지 않도록 보호해 줌.

(5) 쉴드 토치 시스템
1) 토치 : 쉽게 탈부착이 가능한 2.5mm 인젝터 내경의 일체형 토치 시스템.

(6) 방해이온 제거 시스템 : 충돌 및 화학반응 기술
1) 12MHz의 안정된 4세대 팔중극 재반응 시스템 Octopole reaction system(ORS4)
높은 고압에서 이온의 산란을 최소화 시키고 이온집중효과가 탁월하여 높은 이온 전달력을 제공.

(7) 진공 시스템
1) 3단계 독립적인 진공시스템은 1개의 turbo pumps(250L/sec)와 저진공 펌프로 구성되어 있다.

(8) 사중극자
1) 사중극자 방식의 전도성 막대는 고체 몰리브덴 재질로 제작됨.
2) 질량필터에 도입되는 고주파는 Solid-state의 RF generator에서 발생되는 고주파 (~3.0MHz)로
최적의 고감도분석을 할 수 있다.
3) 검출질량 범위 : 2 - 260amu
검출질량스캔속도 : 3000amu/s 이상
검출질량분해능 : 0.3amu부터 1.0amu.
검출 안정도 : 0.05amu/day 이하, 0.1amu/6months 이하
어번던스 감도(Cs) : 저질량 5 x 10^-7
고질량 1 x 10^-7
(9) 검출기
1) 검출방식은 전자증배관 방식을 사용하며, 고농도 분석을 위한 아날로그 모드와 저농도 분석을 위한 펄스모드를 지원하며 자동 변환되며 90도 꺾임 방식.