유도결합 플라즈마 질량분석기(ICP-MS)는 고온의 플라즈마를 이온원(source)로 사용하여, 다중 원소를 동시에 빠르게 분석할 수 있는 기기. 유도결합 플라즈마 질량분석기는 시료를 원자 및 작은 다 원자 이온으로 이온화 한 뒤에 분석. 특히 액체 시료에서 금속 및 여려가지 비금속을 매우 낮은 농도로 분석할 수 있으며, 동일한 원소의 다른 동위원소를 감지할 수 있음. 유도결합 플라즈마 질량분석기는 유도결합 플라즈마 원자방출분광기(ICP-AES) 보다 수십~수천 배까지 검출한계가 낮고, 분석 속도 및 정밀도가 높기 때문에 미량 원소의 분석이 가능.