KFCT
SiC Furnace
11년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 열유체장비 > 전기/소결로
공동활용허용
2023-01-01
81,715,090원
원
- 진공 및 불활성 가스 분위기에서 작동하는 고온 열처리 장비
(1) 사용 온도 Normal 1200℃ (at 질소 분위기)
(2) 유효 규격 500(W) x 500(D) x 500(H)mm
(3) 온도 분포 ±15℃ (무부하, 질소 가스 분위기)
(4) 승온 속도 5℃/min (at RT ~ 1200℃)
(5) 냉각 방식 자연냉각
(6) 발열량 40kW
(7) 제품 장입 방식 장비 전면 Door open 방식
(1) Hot zone
1) 히터 형식 : 저항가열 방식, 봉상(Rod type) SiC Heater
2) 히터 용량 : 40kW
(2) 진공 시스템
1) Oil rotaty pump
Pumping speed 200LPM 이상 (at 60Hz)
Cooling method 공랭식
Ultimate vaccum 1.0 x 10-3 Toor