AVIO
NAW-1280B
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2022-12-19
486,420,000원
없음
본 장비는 작업자에 의하여 제품 트레이에 안착된 제품을 순차적으로 작업 공정으로 이동 한 후 Vision System을 이용하여 Body Carrier 위치를 추적 한 후 Lids의 Carrier 로딩 장치에서 Lids를 흡착하여 Body Carrier로 이동 및 정 위치에 결합한 후 용접(Sealing)하는 장비임.
패키지 내부 부품 및 소자의 보호를 위해 외부환경과의 격리가 필요하며 이를 위한 진공상태 챔버환경을 제공하기 위한 Hermetic sealing 방식이 사용됨.
- N2 분위기 상태에서 hermetic sealing
- Lids Alignment 후 Body에 자동 조립
- Body Carrier Vision System 적용 위치 보정 & Lids 자동 투입 / 용접
- Chamber moisture 상태 실시간 모니터링 및 N2 purging 기능
- 공정장비 및 통합 관제 플랫폼 간 연동 기능 지원
기관의뢰
고정형
건별
[EA] 50,000원
본 장비는 작업자에 의하여 제품 트레이에 안착된 제품을 순차적으로 작업 공정으로 이동 한 후 Vision System을 이용하여 Body Carrier 위치를 추적 한 후 Lids의 Carrier 로딩 장치에서 Lids를 흡착하여 Body Carrier로 이동 및 정 위치에 결합한 후 용접(Sealing)하는 장비임.
본 장비는 각각의 역할을 갖는 모듈형태로 구성된 자동화 시스템으로 패키지 메인 프레임과 리드를 정밀 정렬하여 가접할 수 있는 Lid Tack welder과 이동 후 Hermetic package를 진행하는 Parallel vacuum seam welder로 구성되어 있음.
Ⅰ. 장비의 구성(Configurations of Goods)
1. 주장비_진공 밀폐 접합 장비 본체
1) Lid Tack welder 1set
2) Parallel vacuum seam welder 1set
3) Vacuum Seam Chamber 1set
4) Glove Box 1set
5) Vacuum Oven chamber 1set
Ⅱ. Performance & Specification
1) Lid Tack welder
(1) Weldable range(X,Y) : ≥159 mm
(2) Cycle time : ≤8sec
(3) load 정밀도 : ±100 um
(4) Dedicated tray size : ≥180 mm x 180 mm
2) Parallel vacuum seam welder
(1) Weldable range(X,Y) : ≥159 mm
(2) Seam Welding 후 He leak : ≤9.9x 10-9 Pa.m3/s
(3) 용접헤드 상하 스토로크 : ≥8.5 mm
(4) X,Y 테이블 가동 범위: ±160mm
3) Vacuum Seam Chamber
(1) Ultimate pressure : ≤1.1 x 10-3 Pa(무부하 상태)
(2) 진공 도달 시간 : ≤200sec (at 6 x 10-3 Pa)
(3) N2 purge time : 대기압 도달까지 120초 미만
4) Glove Box
(1) 노점(Dew point) 센서 : -20 ~ -80 ℃
(2) N2 Gas unit : 0 ~ 0.1MPa
5) Vacuum Oven chamber
(1) Ultimate pressure : ≤5 Pa
(2) 표준 Shelf : ≥3ea
(3) 최대온도 : ≥300℃
(4) 최대 온도 도달시간 : ≤40min
(5) 내부 사이즈 : ≥200 mm x 300 mm
6) Utility hook-up
(1) Power : 220V 삼상/단상 7KVA(30M이내)
(2) N2 line : 316EP 재질(20M이내)
(3) 냉각수 line : SUS316(20M이내)
(4) Air(CDA) : SUS316(20M이내)