에스팩(주)
SF300AWG
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 칩검사기
2022-04-12
198,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 50,000원
○ CWDM CHIP 자동 정렬 및 테스트 장비는 CWDM CHIP에 대한 자동 광 정렬 및 특성 분석을 위한 시스템임.
○ 광 자동 정렬의 경우 고정밀의 정렬용 Stage와 계측 시스템이 필요로 하며, 각종 센서 및 광 파워를 모니터링 하여 물리적/광학적인 최적 정렬이 가능한 장비임.
○ 물리적/광학적 정렬이 완료된 Device에 대한 광 손실을 측정하고 이를 분석 할 수 있으며, 특히 해당 시스템의 경우 CWDM device에 대한 특성 분석을 최적화 한 장비임.
1. 다채널 CWDM측정기 본체
(1) Left/Right alignment stage assembly
- X축 : travel length/angle ≥30mm, resolution ≤0.05um
- Y축 : travel length/angle ≥20mm, resolution ≤0.1um
- Z축 : travel length/angle ≥50mm, resolution ≤0.05um
- θx(pitch)/θy(Yaw)/θz(Roll) : resolution ≤0.003degrees
(2) Vision system : resolution ≥1200x900 pixel(CCD Type)
(3) Optical power meter
- Active area(2.0mm) : ≥4ch
- PD Array(250um pitch) : ≥4ch
- Dynamic range : ≥+5~-60dBm
(4) Tunable laser
- Sweep range: ≥O band(1260~1360nm)
- Wavelength accuracy: ±5 pm(@10nm/s)
- Wavelength resolution: ≤1pm
(5) Optical detector
- IL measurement accuracy: ±0.2dB
- PDL measurement accuracy: ±0.05dB
2. Accesary
(1) Computer system : i7/win10/ Dual Display 이상