구성

1. 스퍼터 모듈 1ea
2. 진공 모듈 1ea
3. 보조장비: 글러브박스 시스템 1ea
4. 장비 구동을 위한 컨트롤 타워 및 소프트웨어 세트 1ea

성능
- 스퍼터 가능 면적이 20 cm x 20 cm 이며, 6인치 급 탠덤 태양전지에 적합. (uniformity: ~5% in 100 nm TCO)
- 유기물 버퍼층 및 전하 수송층을 고려한 저손상 (low damage) 모드를 지원
- Full-automated recipe를 통해 소자 제작의 재현성 최적화
- Glove-box integrated system으로 샘플의 loading/un-loading 시의 공기 노출을 막아 소자 제작 시 변수 최소화.
- Ar, O2 flow 사용으로 ITO, IZO target 모두 지원