Olympus
BX53MRF
10년
부대장비(부가장치) (주장비:Auto-Decap분석기)
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 광학현미경
2022-03-07
52,400,000원
기관의뢰
고정형
기타
5,000원
ㅇ Wafer IC외, Bump, MEMS, COB Package 등등의 다양한 집적회로의 미세 패턴 및 불량분석 기능을 위한 고해상도 광학 검사기기
- 명시야, 암시야, 편광 및 간섭, 간섭 대비와 같은 분석 제공
- 이미지 분석 소프트웨어의 새로운 이미지 획득 기법 및 이미지 획득 옵션으로 결과를 평가
ㅇ 메인바디
- 광원장치 : LED광원
- 대물렌즈 : x5, x10,x20, x50, x100
- 대안렌즈 : x10
- 전동 Auto Stage : 150mm x 100mm
ㅇ 고해상도 디지털 카메라
- 카메라화소 : 700만 화소
- 센서 타입 및 렌즈 포맷 : CCD타입, 1/2.5인치
- 유효 픽셀 :700만 화소 칼라
- CCD(총화소수:7.0MEGA PIXELS)이상
ㅇ 측정프로그램
- 이미지 자동 촬영
- MIA(다중영상 정렬)
- EFI(무한 초점 심도) 기능 포함