Thermo Fisher
Phenom proX G6
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2022-04-05
135,000,000원
기관의뢰
고정형
건별
114,000원
시료 표면을 전자선으로 주사하여 입체구조를 직접 관찰하는 기능을 가진 전자현미경. 투과형 전자현미경으로 두꺼운 시료의 입체구조를 관찰하려고 할 경우에는 시료를 비스듬히 놓고 입체사진을 찍거나 간접적으로 표면구조를 보는 레플리카법에 따라야 하는데, 주사형 전자현미경은 전자렌즈 상에 작게 조여진 전자선으로 시료 표면을 주사하고, 시료 표면에서 발생하는 이차전자, 반사전자 등을 증폭시켜 그 양자강도를 휘도로 변환시켜 브라운관에 결상시킨다.
시료 내의 원소에서 발생하는 특성 X선을 분석하는 X선 마이크로애널나이저와 병용하여, 시료 내에 있는 특정 원소의 검출이나 분포를 해석하는 수단으로도 널리 사용하고 있다. 보통은 분해능이 10~20nm이지만, 개량된 것은 대단히 고도의 분해능을 나타내어 미세구조의 해명에 크게 기여하고 있다.
[네이버 지식백과] 주사전자현미경 [scanning electron microscope, 走査電子顯微鏡] (생명과학대사전, 초판 2008., 개정판 2014., 강영희)
○ SEM (Scanning Electron Microscope)
- Magnification range : Light optical (20–134) x, Electron optical (160 – 350,000)x
- Electron optical Long lifetime thermionic source (CeB6)
- Acceleration voltages : (4.8 – 25) kV imaging and analysis mode (Advanced mode)
- Resolution : ≤ 6 nm (SED), ≤ 8 nm (BSD)
- Sample loading time : Electron optical <30 seconds
○ EDS (Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy)
- Detector active area : 25 mm2
- Energy resolution Mn Kα ≤132 eV
- Max. input count rate : 300,000 cps