기가레인
MAXIS310T
9년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
2022-06-22
1,050,000,000원
기관의뢰
고정형
건별
[Hr] 999,999,999원
○ 300mm급 반도체, 세라믹, 금속의 미세 패턴 구현을 위한 건식 식각 장비
○ 세라믹 기판을 포함한 다양한 소재 대면적 기판의 활용 가능
○ 차세대 반도체 소재·부품 대응을 위한 소부장 업체 지원 및 연구 개발 장비
○ 구성
300 mm wafer Process Chamber, High Vacuum Pump RF Power Supply, Gas Supply, Chiller, Load lock