마이다스시스템
MDS ACS
9년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
2022-03-16
572,000,000원
기관의뢰
고정형
기타
999,999원
8~12″크기의 시편에 대해 포토리소그래피 공정 중 기판 위에 미세 패턴을 형성시킬 때 사용하는 PR(Photo-resisrt, 감광물질)을 Coating(도포)하고 Develop(현상) 하는 것을 목적으로 한다.
○ 300mm급 세라믹기판, Glass, Si 등 다양한 대면적 기판의 활용이 가능한 코팅/현상 장비
○ 세라믹기판 위 코트막형성제 제품(프로브카드)의 PI층 및 PR층 형성을 위한 코팅/현상 장비
: 세라믹기판 위 PI 다층 및 미세 패턴 구현
○ 반도체 소재·부품 대응을 위한 소부장 업체 지원 및 박막 연구 개발 장비
○ 구성
√ Load port, Coater, Developer, Heater, Cool station
○ 지원가능 샘플
√ 크기: ~300mm, 종류 : 세라믹기판, Glass, Si 등
○ 공정 조건
√ Coater
- Normal/High viscosity PR/PI용 개별 Nozzel
- vacuum/guide chuck
- Spin speed : Max. 3000rpm
√ Developer
- 1 Dispensor / 1 Top side D.I. / 1 Backside rinse Nozzel
√ Heater 온도 : 50 ~ 250℃, Cool station 온도 : 15~30℃