키사이트코리아
N5227B PNA
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션
2022-03-11
388,359,400원
기관의뢰
고정형
기타
999,999원
○ 구성
√ Network analyzer 및 관련 계측 부속품
○ 지원가능 샘플
√ 크기: ~300mm, 종류 : 세라믹기판, Glass, Si 등
○ 성능
√ 주파수 범위 : 10MHz~67GHz
√ 전압 출력 및 측정범위
- 최대 출력 전압 : 100V(HRSMU), 200V(HPSMU)
- Resolution : 2㎶
√ 전류 출력 및 측정 범위
- 최소 출력 전류 : 100fA
- 최대 출력 전류 : 100mA(HRSMU), 1A(HPSMU)
- Resolution : 1fA
○ 300mm급 반도체, 세라믹, 금속의 미세 패턴에 대한 전기적 계측을 위한 장비
○ 세라믹기판을 포함한 다양한 대면적 기판의 활용이 가능
○ 차세대 반도체 소재·부품 대응을 위한 소부장 업체 지원 및 박막 연구 개발 장비
○ 구성
√ Network analyzer 및 관련 계측 부속품
○ 지원가능 샘플
√ 크기: ~300mm, 종류 : 세라믹기판, Glass, Si 등
○ 성능
√ 주파수 범위 : 10MHz~67GHz
√ 전압 출력 및 측정범위
- 최대 출력 전압 : 100V(HRSMU), 200V(HPSMU)
- Resolution : 2㎶
√ 전류 출력 및 측정 범위
- 최소 출력 전류 : 100fA
- 최대 출력 전류 : 100mA(HRSMU), 1A(HPSMU)
- Resolution : 1fA