이노시엠
제작품
11년
주장비
생산
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 가공/리페어/절단장비
2022-07-08
375,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[Hr] 99,999원
● 정전척용 세라믹 기판 제작을 위하여 펀칭과 인쇄 공정이 완료된 대면적 그린시트로부터 mylar film의 자동 박리 및 그린시트를 적층하여 그린바를 제작하는 공정장비
● 정전척 제조를 위한 필수적인 공정으로 소성 후 결함없이 그린시트들이 접착하도록 적층하는 장비
● □ 430 × 430 ㎜ 크기의 대면적 그린시트를 적층 시 우수한 정밀도와 균일성 확보가 가능하며, Vision system을 적용하여 ±10㎛ 이내의 높은 위치 정밀도 구현이 가능함
● 고정밀 압력제어와 압력 인가 시 순간 Serge압 최소화를 통하여 안정적인 압력으로 균일한 그린바 제작이 가능함
○ Sheet size : □ 430 x 430 ㎜
○ 적층 가능 최대 높이 : 20 ㎜
○ 위치 결정 정밀도 : ± 2 ㎛ 이내
○ Auto Peeling : Mylar film 자동 박리 장치
○ Peeling Capability : 12 ㎛ ~ 200 ㎛
○ 유압장치
- Cylinder : Ф 250, 유압펌프 : 170 ㎏f/㎠
- 유압 최대 추력 : Max. 80ton
- 430 ㎜ 기준 인가 압력 : Max. 43 ㎏f/㎠
○ Vision unit
- CCD : 200만화소, 2Point 적용
- W.D 200 ㎜, F.O.V 4 ㎜