(주)엘케이테크놀로지
ISCG-LPE-100F
5년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 달리 분류되지 않는 성형/가공장비
2022-09-14
320,000,000원
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[Hr] 50,000원
○ 웨이퍼 기판에 Liquid phase epitaxy method를 이용하여 단결정 막을 성장하는 방식의 산화물계 단결정 성장 장비
○ 성장하고자 하는 단결정 막의 조성 조절이 용이하고, 성장 속도가 빠르며, 두께 균일성과 성장된 막의 결정성이 우수
○ 벌크 결정 성장에 필요한 온도보다 낮은 온도에서 단결정 성장 가능하며, 성장 후 상온으로 냉각하는 과정에서 발생하는 스트레스 감소를 통한 고품질 단결정 성장 가능
○ 핵심 사양
- Vertical type
- Chamber size : Ø750mm × H800mm
- Crucible size : Ø130mm × 50ℓ (Pt, Graphite 등)
- Heater type : Induction type
- Process temperature : 2000℃ 이상
- Process pressure : 1.0E-1 Torr 이하
- Gas supply system : Ar, H2, N2