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장비정보

제작사
에스엔유프리시젼(주)
모델 명
CD측정기

내용연수
10년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 광학검사기

장비활용범위
공동활용서비스
취득일
2025-03-25

취득금액
506,000,000원
인증정보
없음
기능
Spectrometer
Line & Space CD
3σ ≤ 50 nm (20X), 3σ ≤ 30 nm (50X) (@1.2um 기준)
Hole CD
3σ ≤ 50 nm (20X), 3σ ≤ 30 nm (50X) (@1.5um 이상)
Throughput : 3.2 sec / Point 이하
장비 상세설명
디스플레이 패널 제품 Metal 신호 배선의 선폭(Critical Dimension) 및 Contact Hole 측정을 통해 단위 공정 능력 및 패널 품질을 확보하기 위한 검사장비
Patterning 관린 신규 개발 소재/장비/부품의 단위 평가 및 패널 제조 시에 공정 능력에 대한 수준 기존 소재/장비/부품과 비교 확인 가능
공정 간 CD 측정을 통해 공정의 경시 변화 보정 가능

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[Hr] 88,000원

장비설명

디스플레이 패널 제품 Metal 신호 배선의 선폭(Critical Dimension) 및 Contact Hole 측정을 통해 단위 공정 능력 및 패널 품질을 확보하기 위한 검사장비
Patterning 관린 신규 개발 소재/장비/부품의 단위 평가 및 패널 제조 시에 공정 능력에 대한 수준 기존 소재/장비/부품과 비교 확인 가능
공정 간 CD 측정을 통해 공정의 경시 변화 보정 가능

장비 구성 및 성능

1. CD측정기(Critical Dimension Measurement)
1) 정반(화강암, 1,480mm x 1,240mm x 200mm이하) 1ea
2) 구동 Stage 1ea
3) CD 측정 Head 1ea
4) Control PC 2ea
5) 기타 기구부, 제어부, 프로그램

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