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- i-Tube No. 2203-A-0328
- NTIS No NFEC-2023-02-285057
- 설치기관 (재)포항산업과학연구원
- 주소 경상북도 포항시 남구 청암로 67(재)포항산업과학연구원
- 담당자 강성 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
Fischione
-
모델 명
M1061 SEM-Mill
내용연수5년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 달리 분류되지 않는 현미경
장비활용범위공동활용서비스
-
취득일
2022-03-24
취득금액207,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료[Hr] 58,890원
장비설명
Ar 이온을 이용하여 시편의 단면을 가공하는데 사용하는 장비로써, Ga ion을 사용하는 FIB에 비해 동일시간 동안 3배 이상의 넓이 및 깊이를 가공할 수 있으나, 별도의 이미징 기능이 없어, 단면 이온 가공 후 SEM 등을 이용하여 단면 관찰을 수행해야 함
장비 구성 및 성능
Maximum milling rate : 0.5 mm/hr or more
Maximum sample size : 11(W) X 8(D) X 3(H) mm
Air protection chamber
Cooling temperature control : LN2 사용, ~120도 이하
Accelerating voltage : 2 ~ 8 kV
Observation : monitoring camera attached
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
i-Tube 대표문의 : 1811-9126 / KIAT 대표 콜센터 : 02-6009-3000
