Kdn

없음

본 장비는 Czochralski 방법을 이용하여 고온 및 진공의 전기로에서 fluoride 계 등의 비산화물계 원재료를 용융하고 seed 단결정을 이용하여 광학용 단결정 잉곳을 성장하기에 적합한 장비임

1) 주 장비
○ 단결정 인상로 챔버 : 1 set
- 챔버 내경 : Ø600 mm 이상
- 챔버 높이 : 1,080 mm 이상
- 사용온도 : 1,500℃ 이상
- 챔버 냉각수 : 최저유량 50 L/min 이상

○ Czochralski 단결정 성장 시스템 : 1 set
- 상부 인상부(Puller) 이송거리 : 450 mm 이상
- 상부 인상부(Puller) 회전 속도 : 0.3~30 rpm 범위 이상

- 하부 도가니부(Crucible) 이송거리 : 150 mm 이상
- 무게측정센서(로드셀) 측정 무게 : 10 kg 이상
- 시퀀스 제어 프로그램 포함

○ 진공 시스템 : 1 set
- 저진공(primary vacuum) 펌프 규격 : Rotary pump (0.1 Pa 이하) 또는 Dry pump (1 Pa 이하)
- 고진공(secondary vacuum) 펌프 규격 : Diffusion pump (7.5 x 10-5 Pa 이하) 또는 Turbo pump (1 x 10-4 Pa 이하)
○ 공정가스 공급 및 배기부 : 1 set
- 공정 가스 : Ar, CF2
- Ar, CF2용 Flowmeter, Valve 등 포함
- 배기용 트랩, 필터 등 포함
- 외부 Scrubber단 연결부 (설치 시 연결 및 누설 확인)

2) 부속장비
○ CCD 카메라 시스템 : 1 set
- 필터 포함 Color CCD 카메라
- 1.3MP, USB 3.0