오에스케어
제작품
8년
부대장비(부가장치) (주장비:유기증착기)
시험
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 열증착기
2022-06-10
221,337,130원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 374,000원
본 장비는 유기증착기 장비의 정렬 모듈로 크기 200㎜×200㎜의 기판을 이용하여 증착용 마스크와 정밀한 정렬 공정을 수행함.
CCD 카메라와 얼라인 키를 이용하여 증착용 마스크와 기판을 오차 ±5㎛ 수준으로 자동 제어하여 고해상도 픽셀 및 패턴 형성이 가능함.
장비구성
- Substrate size : 200×200㎟
- Effective area : 170×170㎟ - Mask Alignment Accuracy : <±5㎛
- CCD camera for alignment
1) Type : progressive scan monochrome
2) Resolution : 1392×1040, 16fps(Full Frame)
3) CCD sensor : Mochrome 1/2inch IT CCD
4) Power : 12V DC±10%, 1.8W
5) Function control : RS232C
- illumination : 135W, Halogen, 50,000 Lux, 광도 제어 0~100%
- 기구부
1) GLASS & MASK LOADING UNIT
2) TOP PLATE & CAMERA UNIT
3) ALIGNMENT STAGE(UVW) UNIT
4) COOLING PLATE UNIT & MAGNETIC PLATE UNIT
5) Z MOTION BLOCK UNIT