한테크
HT-NPC-250
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 성형/가공장비 > 달리 분류되지 않는 성형/가공장비
2022-09-27
285,000,000원
기관의뢰
고정형
시간별
[Hr] 30,000원
본 장비는 인쇄 전자 및 반도체 산업 등에 사용되는 필름 성형 장비로서 나노(nano) 단위의 패턴이 새겨진 웨이퍼 및 패널에 자외선 도료를 코팅 후 필름을 라미네이팅 하여 베이스 기재(웨이퍼 또는 패널)에 새겨진 패턴을 필름에 전사 시키는 장비임
1. Main Frame & Control & Electric Power Parts
Control Display : PLC Touch Display 자동 공정 제어 (System 연동)
Control type : Manual & Auto Control
Material : SUS, AL(Soft Anodizing / Hard Anodizing 표면처리), Steel(Powder
Coating)
MCT가공, 선반가공, 레이져 절단절곡 및 기타 시퀀스배선
상부 Dryer Line - Exhaust Fan 설치. 비상 스위치, 안전장치 설치
Power : 220V AC 50/60Hz × 10kW
2. Coating System Module Part
Material : SUS, AL(Soft Anodizing / Hard Anodizing 표면처리), Steel(Powder
Coating)
Coating Size (D×W) : 8”wafer 기준
Working Table Size (D×W) : 250mm × 250mm
Coating Thickness : 50㎛ 미만
Squeegee Speed : 700cycle/h
Input Air Pressure : 0.5 ~ 0.6 (Mp)
MCT가공, 선반가공, 레이져 절단절곡, 일반부품구입
3. Liquid Supply Module Part
Material : SUS, AL(Soft Anodizing / Hard Anodizing 표면처리), Steel(Powder
Coating)
Tank capacity : 5ℓ
Anchor Impeller 교반
Liquid Pump : 마그네틱 기어펌프 & air(현장공급) 또는 질소(현장공급)
Liquid Supply Line : 디스펜서, 압력게이지, 에어 유니트, 드레인밸브등 etc..
Electric Source : 220V / 50 ~ 60Hz
4. Vacuum stage Part
Material : AL(Soft Anodizing / Hard Anodizing 표면처리),
Coating stage 구동축 Y축 motorstage ( MITSUBISHI 서보모터)
Plate size : 250mm × 250mm
Polishing 정밀가공 처리후 표면처리
5. Unwinder & Film Cutting & Remove Module Part
Control Display : Main System 연동
1축 CENTER 방식
직경 : ~max φ500mm
텐션 컨트롤러 장력검출기 및 장력표시계
원단 연결방식 : 수동 연결 방식
6. Film Cutting Module : Air cylinder 방식
7. Remove Module
구동축 motorstage ( MITSUBISHI 서보모터)
8. Laminating 및 UV 가경화 System Part
Laminating Roll : Silicone rubber 65 ~ 75 SH (최적선택)
Z축 MITSUBISHI 서보모터
Precision Regulator
UV 조사 면적 : 10mm × 250mm / 조사거리 : 15mm
UV LED파장 : 365nm
냉각방식 : 강제공냉식 (Forced AIR-Cooling Type)