한국기계연구원
-
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 재료물성시험장비 > 가속수명시험기
2022-12-23
956,657,700원
없음
터보분자펌프 종합성능 시험장비
터보분자펌프 종합성능 시험장비
기관의뢰
고정형
기타
[EA] 10,000,000원
반도체 장비중 고진공(10-9mbar)까지 도달하기 위해 터보분자펌프를 사용하는데, 이에 대한 성능시험을 ISO21360-1,3,4규격에 따라 할 수 있도록 제작되었음. 내부 가열 램프도 추가 제작하여 경우에 따라 우주환경(진공, 복사열)을 모사하는 열진공 시험으로 활용 가능
ISO21360-1,2,4 규격에 의한 터보분자펌프의 성능시험
- 기본성능시험(배기량 4300L/s(N2), 진공도 10-9 mbar (6시간 이내 도달))
- 소음(ISO3744 규격 소음실)
- 자기장(자체시험법 수평, 수직형 )
- 파괴 (ISO27892 토크측정)