한국기계연구원
-
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 재료물성시험장비 > 가속수명시험기
2022-12-23
953,416,710원
없음
터보분자펌프 수명평가장비
터보분자펌프 수명평가장비
기관의뢰
고정형
기타
[EA] 10,000,000원
반도체 장비중 고진공(10-9mbar)까지 도달하기 위해 터보분자펌프를 사용하는데, 이에 대한 수명시험을 수행하는 장비이다. 장시간 시험을 위해, 밸브 및 제어는 자동화 하였으며, 원격제어, 데이터 백업, 무정전 전원장치(UPS), CCTV등의 시설을 클린룸에 갖추었다. 수명시험 전후로 성능시험이 용이하도록 관련 배관이 구성되어 있다.
○ 밸브 on/off: 자동제어방식
○ TMP/Backing Pump on/off: 자동제어
○ 수명시험중 실시간 측정: 진공도, 반복시험회수, 사용전류, 동시 3대 시험가능
○ 수명시험 전후 측정: 같은 클린룸 내 성능시험장비와 배관으로 연결되어 손쉽게 측정가능
○ Chamber Size : ID(2000 mm) × L(1500 mm)
○ Volume : 3.8 ㎥
○ TMP Mounting Flange Port : Hydraulic or Pneumatic Type Gate Valve
- 4 Port TMP Mount Flange
○ Additional Hardware
- High Vaccum Gauge & Sensor module
- Low Vaccum Gauge & Sensor module
- AC/DC Power Supply module
- O2 Monitoring Sensor module
- ect. Connect Line module
○ Pump / TIC power : 100W / 200W
- Electrical supply : 90 to 264 V a.c. 47 to 63Hz 215VA
- Peak inrush current : 10.3A @ 110V a.c. / 23.0A @ 230V a.c.
○ DAQ system
- PXI or RIO : 1.6GHz 쿼드 , 70T FPGA, RT, 8 슬롯, XT
- AI : 32 채널, +/- 200mv~+/- 10v, 16 비트, 250 Ks/S
- 노이즈 제거 기능이 내장형 8개의 전류 및 전압 입력, 출력 채널
- DeviceNET or EtherCAT, CAN HighSPEED 인버터 통신 모듈
- Multi Fuction Communication Module
○ Life evaluation equipment controller
- Pressure sencor : 0.01% 이내
- Temp PID제어장치
○ 통합제어 및 모니터링 프로그램
- 변경 및 수정 가능한 버전, Sampling 조정가능
- 각 시험모드별 옵션 선택 가능