Carl Zeiss Microscopy Ltd.
GeminiSEM 560
5년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2022-08-04
745,638,680원
없음
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기관의뢰
고정형
건별
[EA] 50,000원
1) 전계방사형주사전자현미경은 높은 해상도의 이미지를 관찰하고자 전자를 가속시켜 시료 표면에 주사하여 이미지를 획득
2) 다양한 시료에 미세구조 관찰이 가능하며 본 FE-SEM은 특유의 컬럼을 이용하여 컬럼과 시편 사이에 장착해야만 했던 검출기 등을 컬럼 내부로 넣는 In-lens형 검출기를 장착하여 높은 해상도를 관찰할 수 있는 짧은 작업 거리를 확보할 수 있으며 짧은 작업 거리 확보로 인하여 약한 에너지의 전자를 관찰할 수 있어 강한 에너지를 가진 전자에 약한 시료들을 대상으로 최상의 영상획득.
3) EDS 검출기를 장착하여 미세구조의 정량, 정성 분석 등재료의 특성을 분석할 수 있다. 시료에 조사하여 시료의성분 및 극미량 원소분석 사용
1. 주장비(Main body)
1) Schottky Field Emission Scanning Electron Microscope system
(1) Electron source
a) 1.0nm at 0.5kV or better
b) 0.8nm at 1kV or better
c) 0.6nm at 15kV or better
d) 0.6nm at 30kV, STEM or better
e) Acceleration Voltage: 0.35kV to 30kV or more
f) Probe (Beam) current: 3pA – 20nA or more
g) Max. field of view: 2.3mm or wider
(2) Detector
a) In-lens detector for SE and EsB (BSE)
b) Chamber detector for SE
c) STEM detector: Retractable, 3+ segment or more
(3) Chamber
a) 5-axes motorized stage or more
b) X/Y = 130mm or more
c) Z = 10mm or more
d) T = 70º or more
e) R = 360º or more
f) Specimen weight: Up to 0.5 kg or more
g) Specimen size: 150 mm or bigger
h) Dimension size: 360mm or bigger
i) Airlock for quick sample transfer
j) Color CCD-Camera on Chamber
k) Vacuum pump
(4) Workstation
a) Operating system: 64-bit GUI with Win7 or better
b) Monitor: 24“ TFT or bigger
c) Joystick: Single or better
d) Control Panel
e) Mapping software: Large frame store imaging solution or better
f) Image processing: 6,000 x 4,000 pixels or more
2. 부속장비(Accessories)
1) Integrated Plasma Cleaner
2) Energy Dispersive X-ray Spectrometer
a) 60mm2 SDD detector, FWHM < 129eV or better
3) Software
a) ESPRIT: Spectrum, Quant, EQuant, UQuant, Scan, Vision, MultiPoint, Line, QLine, Map, QMap, HyperMap, TChart, Project, Report, User, LAN, SEMLink, AutoPhase or more