Kratos Analytical
AXIS Supra
10년
주장비
분석
화합물 전처리·분석장비 > 분광분석장비 > X-선광전자분광기
2022-05-19
976,800,000원
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기관의뢰
고정형
건별
[EA] 160,000원
○ 미지시료 조성 역분석용 성분 분석 및 표면 분석 장비
X-선 광전자 분광기는 시료의 표면으로부터 100 Å(10층 이내의 단원자 층)의 깊이에 관한 정보를 얻을 수 있는 표면민감성 분석장비입니다.. 일정한 에너지를 가지는 X선(광자)을 시료에 쬐면 시료로부터 광전자(photoelectron)들이 방출되는데 이 광전자들의 운동 에너지를 측정하면 광전자를 시료로부터 방출하기 위해 필요한 에너지인 binding energy를 알 수 있습니다. 광전자를 방출하는 원자의 고유한 성질인 이 binding energy의 측정으로부터 원소의 정성 및 정량분석, 그리고 화학결합 상태 등을 분석하는 기법입니다.
현재까지 개발된 XPS 중 분해능, 감도가 가장 우수하며, 하전보정이 정확하여 디스플레이 소재, 반도체 소재, 박막, 금속, 화합물, 유리, 촉매, 고분자 및 최근 활발히 연구되고 있는 나노 소재에 이르는 다양한 시료의 표면에 대한 정성, 정량 및 화학적 결합 상태 분석 등에 이용되며, 그 외에도 깊이 분석 및 표면 이미지 등에 관한 정보를 얻을 수 있습니다.
○ General
- Hemispherical energy analyser : 165mm mean radius
- Detector : 128 channel delay line detector with MCP
- Al monochromated X-ray source : 500mm Rowland circle
- Base pressure : <5x10-10 Torr(analysis chamber), <5x10-9 Torr(load lock chamber)
- Optic cameras on analysis position and in load lock chamber
○ Gas cluster ion source
- Acceleration voltage : 5 ~ 20 keV1000
- Cluster size : 500 ~ 3000 Ar ion
- Monatomic mode : 0.5 ~ 8 keV
○ Heating and cooling
- Sample temperature : -100℃ ~ +800℃
- Temperature regulation by PID controller
○ UPS(Ultraviolet Photoelectron spectroscopy)
- Automatic piezoelectric gas introduction
- UPS performance : 1,000,000 CPS @ 120meV resolution(He I, on Ag 4d peak)
○ Glove box for load lock chamber
- For air sensitive samples on standard sample holders
- Airtight box with 2 gloves and gas connections