Carl Zeiss
LSM 900
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 공초점현미경
2022-03-29
272,580,000원
기관의뢰
고정형
건별
[EA] 100,000원
○ 포토레지스트 및 디스플레이 소재 표면 및 계면의 미세 결함을 관찰 및 분석
- 단일 파장의 레이저에서 나오는 빛이 시료의 특정 표면을 주사하고 핀홀을 통해 한 번에 한 점만 비추면서 상을 구성하는 장비로 표면의 거칠기를 3D로 구현함
- 자동스테이지를 이용하여 한번 에 여러 장의 이미지를 획득하여 넓은 영역을 관찰할 수 있고 스캔닝 줌을 이용하여 다양한 배율로 연속적으로 관찰이 가능
- 길이, 넓이, 두께, 금속조직분석(Grain size, Graphite, Non-metallic inclusion)등을 Computer 의 Software에 의하여 자동으로 측정하므로 사용자의 오차를 배제 할 뿐만 아니라 정확한 측정 결과치를 나타낼 수 있음
- 스캔닝 정밀도가 6,144 × 6,144 pixels이기 때문에 정밀한 거칠기 측정에 특화된 장비임
1. 스캐너 시스템
1) 스캐너
o 독립된 2개의 갈바노 리니어 스캐너
2) 스캔줌
o 0.5-40배, 0.1 단위로 디지털 조정 가능
3) 스캔 속도
o 1024 x 1024 픽셀의 경우 초당 8 프레임 이상
4) 이미지 스캔
o 스캔 해상도 : 32 x 1부터 6,144 x 6,144 이상
o 스캔의 모양은 자유자재 변화됨 (예, 별모양, 원형, 사각형 등 ...)
o 스캔 회전 : 360도 자유롭게 회전되며 1도 단위로 변경가능함
5) 다이나믹 범위 : 16 비트 이상
6) 핀홀
o 마스터 핀홀의 크기와 위치는 사전 조정되어 있음
o 다중형광 및 단파장 이미지를 위해 자유롭게 핀홀 조정 됨
o 컴퓨터는 자동 보정 장치는 제어할 수 있다.
2. 레이져 및 전기 장치 시스템
1) UV/가시광선 레이져는 각각 스캐너에 직접 연결되어 있음
o 고체 레이져 405nm 5mW
2) 레이져 삽입
o 각각의 단일 레이져로 삽입 되며 이를 보호 하기 위해 각 레이져
끝이 편광판과 결합한 돼지 꼬리 형태임
o 레이져 세기 조정은 직접 모듈레이션 타입으로 조정함. 조정 단위는
0.01% 단위임
3) 실시간 전기 장치 시스템
o 현미경, 레이져, 스캔 모듈 및 기타 부속품들을 컨트롤
o 이미지 획득 장치와 실시간 전기 장치 시스템은 동시에 정보 공유
4) 구동 컴퓨터 및 모니터
o Core i5-6500 CPU 3.2 GHz 6M cache or better
o RAM: 16 GB DDR4 or more
o 그래픽 카드: 2G or more
o 하드 드라이브: 256 GB SSD and 4 TB,
o 윈도우 10
o LCD TFT 모니터 32“ or more
3. 구동 소프트웨어
1) 시스템 구성
o 스캔모듈, 레이져, 현미경 등 전자동 시스템 구성
o 사용자 별 특정 구성을 저장하고 재사용 가능
o 64 비트 구성
2) 시스템 셀프 테스트
o 특수한 도구를 이용하여 최적화된 환경으로 셀프 테스트를 진행할 수
있다.
3) 스마트 셋업
o 스팟, 라인/스프라인, 프레임, Z-스택, 람다 스택, 타임 시리즈 등
모든 조건 조합 가능
o 빠른 속도의 스텝 스캔
o 형광 시료 별 스마트 셋업
4) 크랍 기능
o 스캔 면적 자동 셋팅 (줌, 오프셋, 회전)
5) 실제 ROI 스캔
o ROI 99개 이상 설정
6) ROI Bleach
o ROI 99개 이상 bleach 설정
o bleaching 속도 조절, 각각 별도의 레이져 사용 가능
7) 람다 스캔
o 스펙트럴 정보를 가지고 평행하게 혹은 순차적인 이미지 획득 가능
8) 색 섞임 방지 기능
o 온라인 혹은 오프라인 방식으로 유사 파장의 색섞임을 방지함
9) 이미지 분석
o Colocalization 및 히스토 그램 정량 분석
o 라인을 이용한 프로파일 정량 분석
o 길이, 각도, 표면, 형광 강도 정량 분석
10) 이미지 아카이브, 불러오기, 내보내기
o 20개 이상의 파일 형식 사용 (TIF, BMP, JPG, PSD, DCX, GIF, AVI,
Quicktime, etc)
11) 3D 재구축
12) 크기가 큰 개체 이미징을 위한 타일과 포지션 기능
o 형광 및 명시야에서 100 x 100 타일 이상 가능
13) ROI-HDR
14) FRET – Acceptor Photobleaching 및 Sensitized Emission 방법으로
FRET (Forster resonance energy tranfer) 구현
15) FRAP – FRAP (fluorescence recovery after photobleaching) 구현으로
intensity kinetics 분석
16) Grain size, Cast iron, Non-metallic inclusion 분석
4. 현미경 본체
1) 검경법 : 명시야, 암시야, 회전 미분간섭, 편광 이상
2) 레이져 모드
3) 전동식 7개의 대물렌즈를 동시에 장착 할 수 있는 대물렌즈 고정대 포함
4) 쌍안 관찰 카메라 장착 튜브 : 각도 15도 이상, FOV 25mm 이상
5) 반사광 과 투과광조명 : LED
6) 전동 재물대
o 이동 범위 : 130 mm x 85 mm 이상
o 최고 속도 : 25 mm/s 이상
o 해상도 : 0.1um 이하
o 재현성 : +/-1um 이하
o 절대적인 정확도 : +/-5um 이하
7) 대물렌즈
o 1.25x/0.03, 이상
o 2.5x/0.06, 이상
o 5x/0.13, 이상
o 10x/0.4, 이상
o 20x/0.7, 이상
o 50x/0.95 이상
o 100x/0.87 이상
8) 터치 스크린
o 현미경 조건설정 과 자동조절이 가능
9) 고해상도 현미경 칼라 카메라
o 센서 : CCD, 11 mm 이상
o 화소수 : 1936 (H) × 1,460 (V) 이상
o 픽셀 크기 : 4.54um x 4.54um 이상
o 노출시간 : 250us - 46s
o 라이브 프래임 속도 : 38fps @ 1936 × 1,460 이상