앰크래프츠
AIS2000C
10년
주장비
분석
광학·전자 영상장비 > 현미경 > 주사전자현미경
2022-07-04
94,904,730원
장비 구성
1) Normal SEM(주사전자현미경)
· 고전압발생장치 1세트
· 검출기(SE 및 BSE 4 channel 포함) 1세트
. 챔버(chamber)시스템 1세트
. 진공시스템 1세트
· 메인프레임(하우징) 1세트
· 제어시스템 1세트
2) EDS 이전 및 재설치
· Bruker 410M 1세트
주요 성능 및 규격
1) 분해능 : 3nm(30kV, SE Image), 5nm(30KV, BSE Image)
2) 배율 :
. 실측배율: x10 ~ x300,000
. 유효배율 : x10 ~x100,000
3) 가속전압 : 200V ~ 30kV (해당 범위의 모든 선택 가속전압에서 영상구현이 가능함)
4) 검출기 :
. 이차전자 검출(SE 디텍터 : ET-Type)
. BSE전자 검출(Semiconductor Type, 4채널 디텍터)
1. 분해능 3nm, 최대 x300,000배 (유효배율 x100,000배)의 고배율로의 분석을 제공
2. EDS가 장착되어 시료의 효율적인 성분분석이 가능
금속, 재료, 반도체, 화학, PCB 분야 등 모든 첨단산업의 연구 및 분석에 활용된다.
기관의뢰 직접사용
고정형
시간별
[Hr] 100,000원
본 장비(Normal SEM)는 전자빔을 시료에 주사하여 표면에서 발생하는 2차전자(SE)와 후방산란전자(BSE)를 수집한 후 영상신호로 변환시키는 장치로서, 표면 및 미세조직, 파단면 등을 일반현미경으로 관찰할 수 없는 고배율로 관찰할 수 있다.
장비 구성
1) Normal SEM(주사전자현미경)
· 고전압발생장치 1세트
· 검출기(SE 및 BSE 4 channel 포함) 1세트
. 챔버(chamber)시스템 1세트
. 진공시스템 1세트
· 메인프레임(하우징) 1세트
· 제어시스템 1세트
2) EDS 이전 및 재설치
· Bruker 410M 1세트
주요 성능 및 규격
1) 분해능 : 3nm(30kV, SE Image), 5nm(30KV, BSE Image)
2) 배율 :
. 실측배율: x10 ~ x300,000
. 유효배율 : x10 ~x100,000
3) 가속전압 : 200V ~ 30kV (해당 범위의 모든 선택 가속전압에서 영상구현이 가능함)
4) 검출기 :
. 이차전자 검출(SE 디텍터 : ET-Type)
. BSE전자 검출(Semiconductor Type, 4채널 디텍터)