* SEM
1. 주요기능
1) 분해능(SEI) : 가속전압 30kV에서 5nm
2) 배율 : 20x to 150,000x
3) 가속전압 : 1kV to 30kV
2. 전자 수집
1) 2차 전자(Secondary Electron Detector)
2) 후방산란 전자(Back Scattered Electron Detector)
3) SE+BSE Merge Images / SE&BSE Split Image
3. 스테이지 시스템
1) X,Y,R,Z,T : 5-axis Fully Motorized Stage
2) 최대 샘플 크기 : 80㎜ in Diameter, 50㎜ in Height
3) Working Distance : 0 to 40mm
4) Auto Calibration Stage system : 5-axis Home potion setting.
5) 5-axis Stepping Motor 채택 : 정밀도 3μm 이내

* EDS
1. System Configuration
1) 모든 EDS 분석기능 (SEM 이미지 획득, 스펙트럼 정성정량, Mapping & Linescan)
2) 중첩 HPD Peak 구분 기능
2. Specification
1) 정성․정량 분석기능
- Unknown Sample에 대한 성분과 함량 확인 기능
2) Mapping 기능
3) Multi-point Analysis 기능