1.ICP-MS 시스템
1)시료도입부
-냉각 온도제어 : -10℃~ + 20℃
2)라디오주파수 발생장치
-27MHZ, 400 ~1600w또는 그 이상
3)ICP-MS 인터페이스
-구성품 니켈재질의 샘플러/스키머 콘
4)이온 추출시스템
-90°렌지를 통해 중성물질 제거
5)간섭제거 시스템
6)질량분석기
-질량분석 범위 2~290 원자질량
-스캔속도 > 3,700원자질량/초
-안정도 < ±0.025 원자질량/일
7)진공시스템
8)검출시스템
9)성능
-감도 : 115In > 240 또는 그이상
-검출한계 : 9Be < 0.5 또는 그이상
-안정성 : 단시간 < 2% RSD, 장시간 < 3% RSD
2.물순환냉각시스템
3.자동 시료주입장치
4.데이터 시스템