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- i-Tube No. 2202-C-0234
- NTIS No NFEC-2022-04-278689
- 설치기관 금오공과대학교산학협력단
- 주소 경상북도 구미시 대학로 61 (양호동, 금오공과대학교)
- 담당자 안성진 (T. 054-478-7747 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
마이다스시스템(주)
-
모델 명
M205S
내용연수8년
-
구분
주장비
용도분석
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 리소그래픽장비
-
취득일
2022-02-21
취득금액63,593,240원
- 인증정보
- 기능
-
장비 상세설명
Lamp type : Mercurv Short arc lamp (350W)
Wavelength : 350nm to 450nm
Max. beam size 6.25 in. x 6.25in.
365nm Intensity : 〉max 25 mW/cm2
Beam uniformity : <±3% (4in.)
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료[KG] 1원
장비설명
Lamp type : Mercurv Short arc lamp (350W)
Wavelength : 350nm to 450nm
Max. beam size 6.25 in. x 6.25in.
365nm Intensity : 〉max 25 mW/cm2
Beam uniformity : <±3% (4in.)
장비 구성 및 성능
Dual CCD zoom microscope
Manual moving stage : Dual X, Y, Z axis
Objective spacing : 60 ~ 100mm
Move range : Y Axis 士 20 mm
Magnification : 76x ~485x
Working distance : 86mm / 32mm
Motorized moving scope
Scope moving stage : Motorized Dual X.Y,
Scope Control: Jovstick Control (2ea)
X,Y Moving stroke 주주 협의
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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