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장비정보

제작사
엠에스테크
모델 명
MST6000C

내용연수
11년
구분
주장비

용도
분석
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션
취득일
2022-02-24

취득금액
48,650,000원
인증정보
기능
장비 상세설명
반도체 검사기 일종으로 전류 전압을 측정을 위한 장비 입니다. 동시에 기존에는 싸인파 형태의 주파수를 인가하여 특정 하였다면 뉴 장비는 펄스형태의 주파수를 인가하므로써 기존보다 고출력의 신호를 인가하고 출력 동작시킬수 있는 장점이 있는 Probe station 입니다.

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[KG] 1원

장비설명

1 . Probe station main body unit - 1 SET
- 8“ ambient coaxial chuck Gold Back bais & Insolution Chuck
- Dual Vacuum Switch : center hold, Round on&off switch
- Chuck Bias & Banana Plug
- Isolation Surface Chuck with Ground
- Platen : White Al Sending & Glass Coatjon for ESD
- Side Plate for Ground 6 Bar Block
- Vacuum Switch for Positioner 6. On/off
- X/y Stage Travel : 200 x 200mm. Resolution 5um Knob type
- Z Stage : Up/Down 10mm, Fine Knob. Resotuiotn : 1um
- Theta Micro Control 15℃. Fine Knob
- Microscope Mount X/y Stage : Travel 50 x 50mm. Resolution 5um
2. Microscope (maximum : 200x), 80um Pad - 1 SET
- CCD Zoom Camera
- Zoom : 0.65x ~7x
- Total magnificatjon : 300x (max)
- Fiber Ring Guide & Volume Controller
- Dual Fine Z Focus Precision
3. CCD Camera Precision System - I SET
- 2.1M Pixel, 1280 x 1024
- CCD C-mount. 1/3“
- 15“ LCD Monitor Dual Port

장비 구성 및 성능

I. High positioner body unit_PB100 -6SET
- Manipulator LM lead guide. Fine knob
- X/y Travel 13mm. Z. z“ : Free Z Up down Knob 20mm. Fine 1Omm
- X/y/z Resoluion 1um
2. Positioner holder : PH_C15 Triaxial IV -3SET
- TRX Cable 2M. TRX Plug
3. Positioner holder : PH_C14 High Voltage -3SET
- High Power Cable 3M & Banana Piug
4. Dark Shield Box_Dual Shield -1SET
- Dimension : 900(w) x 760(d) x 1000(h)mm
5. Plate Pannel : Triaxial (f) to (f) -1EA
- Plate Pannel : 4 SMU’s. 4BNC’s
6. High Frequency Positioner & Holder _PB200 -2SET
- Pulsed IV Positioner & Holder / Ceramic Tip
- Puls width 10ns (~ Max 6ns for Measurement )
- Pulsed IV Positioner & Holder / Ceramic Tip
- High Positioner_Pulsed IV
- X/y/z Travel 15mm. Resolution : 1um
- Frequency Holding Jig
- Vaccum On/off witch
7. Positioner holder : PH_C16 Pulsed_PKG Module - 2SET
- Pulse Isolation Probe Holder
- Pulse SSMC Cable & Connector (f). 20cm (2ea)_GND
- Puls SSMC Cable & Connector (f). 50cm (2ea)_Sgnal

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