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장비정보

제작사
Keysight Technologies
모델 명
B1500A

내용연수
11년
구분
주장비

용도
계측
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
취득일
2022-01-27

취득금액
148,192,000원
인증정보
기능
- 정밀 전압 및 전류 측정(0.5µs 및 0.1fA 분해능)
- 4사분원 작동 시 최대 100V/0.1A 범위
- 최소 측정 분해능 1 fA/0.5 µ - 100에 대한 옵션 ASU(atto-sense 및 스위치 유닛)
- a 면적 분해능 및 IV/CV 스위칭 기능
- 4사분원 작동 시 최대 200V/1A 범위
- 최소 측정 분해능 10 fA/2 µV
- AC 임피던스 측정(C-V, C-f, C-t)
- 최소 1mHz 주파수 분해능을 가진 1kHz ~ 5MHz 주파수 범위
- SMU 및 SCU(SMU CMU Unified Unit)와 함께 25V 내장 DC 바이어스 및 100V DC 바이어스
- SCUU에 의한 쉽고 빠르게 정확한 IV 및 CV 자동 연결 변경
- 비휘발성 메모리 테스트에 적용 가능한 최대 ±40V의 고전압 출력
- 단일 채널별 2레벨 및 3레벨 펄스 기능
- 10ns 분해능의 유연한 임의 파형 생성(임의 선형 파형 생성 기능)
- 모듈당 2채널
- NBTI/PBTI, RTN 등과 같은 펄스 IV 및 과도 IV에 대한 초고속 IV 측정 기능
- 프로그래밍 가능한 분해능이 10ns인 파형 생성
- 동시 고속 IV 측정 기능(200MSa/s, 5ns 샘플링 속도) 10V 피크 대 피크 출력
- 로드라인 효과 없음 동적 SMU 기술로 정확한 plus IV 측정
장비 상세설명

이용안내

사용형태
기관의뢰

설치형태
고정형
사용료 형태
시간별

장비 사용료
[KG] 1원

장비설명

- 정밀 전압 및 전류 측정(0.5º 및 0.1fA 분해능)
- 멀티 주파수(1kHz ~ 5MHz) 용량 측정(CV, C-f 및 C-t)과 전류/콜티지(IV) 측정 간에 전환 가능
- 100ns 펄스 및 5ns 샘플링 속도로 초고속 IV 측정
- 300개 이상의 즉시 사용 가능한 애플리케이션 테스트
- 오실로스코프 뷰를 사용한 곡선 추적 모드

장비 구성 및 성능

- 4 사분원 작동 시 최대 100V/0.1A 범위
- 최소 측정 분해능 1 fA/0.5 µ - 100에 대한 선택적 ASU(attto-sense 및 스위치 장치)
- aA 해상도 및 IV/CV 전환 기능
- 4 사분원 작동 시 최대 200V/1A 범위 제공
- 최소 측정 분해능 10 fA/2 µV
- AC 임피던스 측정(C-V, C-f, C-t)
- 1kHz ~ 5MHz 주파수 범위, 최소 1mHz 주파수 분해능
- SMU 및 SCUU(SMU CMU Unified Unified Unit)를 사용한 25V 내장 DC 바이어스 및 100V DC 바이어스
- SCUU를 통해 쉽고 빠르며 정확한 IV 및 CV 자동 연결 변경
- 비휘발성 메모리 테스트에 적용 가능한 최대 ±40V의 고전압 출력
- 단일 채널에 의한 2레벨 및 3레벨 펄스 기능
- 10ns 분해능으로 유연한 임의 파형 생성(임의 선형 파형 생성 기능)
- 모듈당 2채널
- NBTI/PBTI, RTN 등과 같은 펄스 IV 및 과도 IV에 대한 초고속 IV 측정 기능
- 프로그램 가능한 분해능 10ns의 파형 생성
- 동시 고속 IV 측정 기능(200MSA/s, 5ns 샘플링 속도) 10V 피크 대 피크 출력
- 동적 SMU 기술에 의한 로드 라인 효과 없음 정확한 플러스 IV 측정

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