● 주사전자현미경
- 전자총 : 전계방사형 전자총
- 가속 전압 범위 : (0.1 ∼ 30) kV 이상
- 배율
Photo mode: 최대 100만배, Display mode : 최대 250만배
분해능 : 0.7 nm 이하 at 15 kV
0.8 nm 이하 at 1 kV
- 대물렌즈 조리개 : 5단계 이상의 사용자 선택 가능한 조리개
- 비점수차 코일 : 8방향 전자계 조정 시스템
- 검출기
이차전자 검출기 : Upper SE detector, Lower SE detector
후방산란전자 검출기 : PD type BSE detector
- 시료 스테이지 이동범위 및 이동 분해능

구분
이동 범위
이동 분해능
X, Y 축
(0 ∼ 50) mm 이상
1 ㎛ 이하
Z 축
(1.5 ∼ 30) mm 이상
100 ㎛ 이하
Tilt
(-5° ∼ 70°) 이상
1° 이하
Rotation
(0 ∼ 360°)
1° 이하
- 진공시스템 : 전자동 공압 밸브 조정 방식
진공 펌프 : 이온펌프+터보분자형펌프(자기부상식)+서브펌프
적정 진공도 : 전자총 이하/ 시료 챔버 이하