1) 검출한계 : 9 Be <0.1
2) Sensitivity : 238U, 540Mcps/mg/L
3) 시료도입부
: 스프레이 챔버 냉각시스템제어
(15 에서 30℃에서 물냉각 -5℃ to +20℃)
4) 인터페이스
: Cu기반의 니켈 or 백금 처리 방식의 콘으로 쉽게 분해 후 세척 가능
5) 이온렌즈
: 45도 2회 회절 방식인 Double off-Axis 디자인인 오메가 렌즈 사용
6) 간섭제거방식
: 물리적인 He 가스로 간섭 제거. 특히 4세대 ORS를 사용으로 간섭제거 효율이 10배 이상 빠르며, cell gas change 속도가 5초이내로 여러 가지 mode를 사용하더라도 빠르게 분석이 가능함