1. 발열온도 : 최대 2300 ℃, 작업 2000 ℃
2. 1700 ℃, 9지점 평균 ±2.5 ℃ 이내
3. 진공 : 1*10^(-3) torr 10시간, 5*10^(-3) torr 1시간
4. 분위기 : 진공, 질소, 아르곤 등 불활성분위기
5. 단열재 : 탄소 및 흑연소재
6. chamber : 2 module
7. 용적 : first chamber 가열존 (heating zone) 800*800*1000