○ 크린룸
 광학청정도 : Class 100,000(0.5㎛) 실체적 × 20회 기준
 크기(mm) : 6,000(W)×40,000(L)×5,000(H)
○ 공기정화장치
 HEPA filter , H.F.U(28CMM)
○ 크린룸 보조설비
 항온항습기 : 온습도 23℃±2℃, 습도 55%±10%
 Air shower(mm) : 1,500×1,000×2,100(1~2인용 수동문)
 DUCT & Installation