1. 유도결합 플라즈마 질량분석기(ICP-MS)
1) 시료도입부
(1) 펠티어 냉각 온도 제어 분무방식: -10℃~+20℃
(2) 석영 시료주입관, 자동 조정 기본
(3) 고 해상도 컬러 TV를 통한 플라즈마 상태 관측 영상 또는 그에 상응
(4) 가스 제어 : 냉각, 보조 및 분무가스 미세유량 조절기 장착 (MFC)
(5) 2개 또는 그 이상의 추가 미세유랑조절기 장착 가능
2) 라디오주파수 발생장치
(1) 일체형 수냉식 디지털 고상 라디오 주파수 발생장치, 27MHz
(2) 출력범위 : 500-1600W(와트) 또는 그 이상, 컴퓨터 제어 및 연속적 조절 가능
(3) 토치와 로드 코일 사이의 실드가 필요 없이 이온 포커싱과 투과의 최적화를 위한 낮은 이온 퍼짐
3) 이온추출 시스템
(1) 중성자와 광자를 특별한 이온 옵틱에 의해 90° 원통 모양의 이온 렌즈로 제거
(2) 90° 렌즈를 통하여 상호작용 없이 중성물질 제거
4) 성능 규격
(1) 감도 (단위 : 킬로 카운트 초/ppb)
Low mass 7Li > 50 Kcps/ppb
Middle mass 115In > 220 Kcps/ppb 그 이상
High mass 238U > 300 Kcps/ppb 그 이상
(2) 검출한계 (ppt)
9Be : < 0.5 또는 그 이하, 115In < 0.1 또는 그 이하
(3) 다원소 화합물
10ppb 튜닝 솔루션 측정
- 산화물 생성율 < 2.5% CeO/Ce
- 2가 양이온 생성율 < 3% Ba++/Ba+
(4) 안정도
장시간 안정도 : 안정도 < 3% 상대표준편차 (내부 표준물법 제외)
단시간 안정도(10분) : 안정도 < 2% 상대표준편차 (내부 표준물법 제외)
(5) 동위원소 비율 안정도 (%RSD)
107은 / 109은 : < 0.1%