측정 전압 및 전류 범위 : 100V / 0.1A
전류 전압 분해능 : 10fa / 5uV
3) 점 원샷 측정 기능을 사용 할 수 있다
4) 12 . 메인 기기에 총 개의 슬롯을 제공하여야 한다
5) , 3 . 전류 전압 측정은 개의 채널을 사용한다
7) T-Space . 소프트웨어는 를 사용한다
8) 작동환경
8-1) : 10~40 외부온도 oC
8-2) : 10~75% RH 습도
8-3) : 800~1060hPa 압력
9) 입력전력
9-1) : 100-240 Vac 허용전압
9-2) : 50/60 Hz, 1 , 2Wires + PE 허용주파수 상
9-3) : 10A 허용전류
10) 크기 및 중량
10-1) (W x H x D) : 442mm X 222mm X 540mm 메인 프래임 크기
10-2) : 25kg 장비 중량
11) 인치 인치 웨이퍼에 제조된 의 및 다이오드의 전압 전류 측정이 가능하여야 한다 4 ~8 DI MOSFET , .
12) PC 작업용 성능 및 구성
12-1) Core I7급 컴퓨터 12-2) RAM 16G이상
12-3) SSD(M.2) 512GB이상 12-4) Windows 10이상
12-5) 23“인치 모니터
다 주요 구성품 .
1) 분석기기 본체
2) MPSMU : 3ea 모듈
3) MFCMU : 1ea 모듈
4) DUT BOX : 1ea
5) 기본 케이블 세트
6) Probe station용 케이블세트
7) Reference 4“, 6“, 8“ wafer 측정용
8) Operation PC set