Mbraun
Unilab Pro SP 1800/780
10년
주장비
시험
기계가공·시험장비 > 열유체장비 >
2021-12-17
51,700,000원
원
용액공정으로 유기전자소자를 제작할 때 필요한 비활성 기체 환경 (N2 및 Ar)을 조성하고 유지하는 장비.
장비 내 정화 장치를 통해 산소와 수분을 1 ppm 미만으로 유지하고, 용매 제거기로 잔여 유기용매 기체를 제거할 수 있음.
구성 - 본체, 주/보조 치환 오븐, 가스제어기, 용매제거장치, 자동순환시스템, 열교환장치, 산소/수분센서
성능 - 산소 누설율 ≤ 0.05 vol%/h, 자동순환유량 max 200 L/min, 수분 측정범위 0~500 ppm, 산소 0~1000ppm, 센서 최소측정단위 0.1 ppm, 산소센서 자체 클리닝 가능, charcoal 방식 용매제거기로 nm ~ µm 단위 190종 이상 용매 제거 가능