주사전자현미경 (FE-SEM)
- 분해능 : 2.0nm @15kV, 5nA, WD 8.5mm
- 가속전압 : 0.02~30kV
- 배율 : 8x~2,000,000x
에너지분산X-선 분광학 시스템 (EDS)
- 분해능 : 127eV
후방산란전자회절패터분석시스템 (EBSD)
- 이미지 : 1,244 X 1,024 pixels
- 분해능 : 0.05도
공초점라만현미경
- 레이져 : 532nm laser 75mW
- 이미지 : 1,650X200 pixel
초저온시스템
- Cooling type : LN2