- 시험 규격 : JS-002 (Joint JEDEC and ESDA), JEDEC C101-F, AEC-Q100-011
- 시험 영역 : 약 10 cm x 10 cm (4 in x 4 in)
- Motion System : (x, y축) 최소 간격 25.4μm, 정확도 6μm, (z축) 최대 38.1 mm, 정확도 6μm
- 시험 전압 : ±25V ~ ±2000V(±1V step), 고전압시험 - 5kV이상
- 온/습도 모니터링 및 습도 조절기능
- Peak current display에 의한 Heat Map 제공 및 파형분석 및 capacitance 측정 & 결과 저장