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- i-Tube No. 2109-C-0433
- NTIS No NFEC-2022-05-279142
- 설치기관 나노종합기술원
- 주소 대전 유성구 대학로 291 (구성동)
- 담당자 이문근 (T. 042-366-1632 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
기가레인
-
모델 명
NeoGENll-MAXIS200L
내용연수10년
-
구분
주장비
용도생산
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 식각장비
-
취득일
2021-09-17
취득금액1,368,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료250,000원
장비설명
본 금속식각장비는 고밀도 ICP플라즈마를 이용하여 웨이퍼 표면 위에 증착된 금속 박막 및 산화막을 포토레지스트 패턴에 따라 선택적으로 식각할 수 있는 장비이다. 3개의 챔버로 구성되어 있고, 각각의 챔버는 금속 식각, 산화막 식각, 잔류 포토레지스트 제거를 위해 사용된다.
장비 구성 및 성능
- Chamber 1 (Oxide) gases: SF6, CF4, CHF3, Ar, O2, He, N2
- Chamber 2 (Metal) gases: BCl3, Cl2, CF4, Ar, O2, N2
- Ceramic ESC with back side He cooling
- EPD
- Temperature control: -20~150 ℃
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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