○ 입자 이송장치
- 송풍량 : 0.485 m/s (면속도), 정밀도 : 5%
- 길이 > 7,000 mm
- 스캐닝 프로브
· 면적 : (9 ± 1) cm2
· 정확도 : 1mm
· 위치 : 필터 표면으로부터 (10 ~ 50) mm
· 이동속도 : ~ 10 cm/s
· X, Y, Z 3축 이동
- 소재 : STS304 이상
- 관측창 : 무정전 처리 수지 (플라스틱), 내부 LED 조명 장착
- 시험물질 : NaCl, KCl, PSL, DOP, DEHS, PAO etc
○ 단분산 입자 발생기
- 입자 크기 < 1 μm : Determined by the particle diameter of the suspension
particles
- 입자 생성률 : Up to 2 x 1011/min
- 최소 필요 서스펜션량 : approx. 100 ml
- 압축 공기 연결부 : 6 bar, free of oil
○ 다분산 입자발생기 (고상입자)
- 입자 농도 : 2 x 107 #/cm3
- 시험 입자 : PSL, Salt solution
- 발생 유량 : (3.0 ~ 3.5) L/min
○ 다분산 입자 발생기 (액상입자)
- 유량 : 30 L/min
- 시험입자 : DOP, DEHS, PAO etc
- Max. back pressure : 10 kPa (1.5 psi)
- Inlet Air(operating) Pressure : 170 kPa (25 psi), Max. 550 kPa (80 psi)
- 공급 공기압력 : 170 kPa (25 psi), Max. 2720 kPa (400 psi)
○ 입자 중화기
- 에어로졸 유량 : (1 ~ 15) m3/h (17 ~ 250 L/min)
- 시험 에어로졸 : Solid or liquid aerosols (0.1 ~ 150 μm)
- 가압 공기 : Particle filtered air, max. 8 bar
- 전원 공급 : 100 ~ 260 V AC
○ 입자 희석기
- 희석비 : 1 : 100
- 유량 : 1 cfm (28.3 L/min)
- 튜브 커넥터 : 8 mm
- 전원공급 : 12 V DC cia AC adapter
○ SMPS
- 측정 입자 크기 범위 : (0.01 ~ 1.0) μm
- 최대 측정 농도 : ~ 107 #/cm3
- 측정 시간 : (10 ~ 600) sec (사용자 조절 가능)
- 응축용 공급 액체 : 부탄올
- 응축핵계수기
· 유량 : 0.3 L/min 또는 1.5 L/min
· 유량 정확도 : (0.3 ± 0.015) L/min, (1.5 ± 0.05) L/min
· 측정 입자 농도 범위
- 기본 : 106 particles/cm3
- 확장 : 107 particles/cm3 (Photometric Detection)
· 측정 정확도
- 싱글 카운드 : ± 5 % @ < 106 particles/cm3
- 광도계 측정 : ± 20 % @ < 107 particles/cm3
· 작동 유체 : 부탄올
· 동작 환경 (온습도) : (10 ~ 35) ℃, (0 ~ 90) %RH, noncondensing
- 전기 이동도 분석기
· 유량
- 샘플 : (0.2 ~ 5) L/min
- Sheath : (2 ~ 30) L/min
· DMA 전압 : 10 ~ 10,000 VDC, negative
· 입자 형태 : 고체 입자, 비휘발성의 액체입자
· 입자 크기 범위 : (10 ~ 1,000) nm
· 동작 환경 (온습도) : (10 ~ 40) ℃, (0 ~ 90) %RH, noncondensing
○ 광산란입자계수기
- 계수 효율 : 50 % at 0.100 μm; 100 % for particles > 0.15 μm
- 측정 입자 크기 범위 : (0.100 ~ 10.0) μm
- 유량 : 1.0 cfm (28.3 L/min)
○ IPA 캐비넷
- 발생 방법 : IPA Vapour system (Laskin Nozzle)
- 장비 구성 : 분사노즐 시스템, 필터 지그, 배기시스템
- 테스트 필터 크기 : (610 x 610) mm 이내
- 유량 : 25 LPM
- 크기 (WDH) : (820 x 985 x 1800) mm
- 무게 : 200 kg 이내
- 확산판 : Metal grid
○ 운영 소프트웨어 및 제어시스템
- 면속도 및 유량제어
- 발생기 및 계측기 전원 및 작동 제어
- 계측기 측정 Data 수집 및 저장
- 시험 상태 및 시스템 내 환경(유량, 온도, 습도) 실시간 모니터링
- 원패스 시험 수행을 위한 관련 규정 시험 프로토콜 내장
- 국내외 적용 규정 시험법에 따른 결과 데이터 통계 처리
- Raw data 및 출력 보고 양식에 따른 데이터 정리
- 제어용 하드웨어 : 범용 장치 적용(추후 시스템 확장 및 업데이트 가능)