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- 급속열처리장비
- i-Tube No. 2210-C-0554
- NTIS No NFEC-2022-10-282376
- 설치기관 한국생산기술연구원
- 주소 광주광역시 북구 첨단과기로208번길 6 (오룡동)
- 담당자 김영백 (T. 062-600-6520 )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
쓰리에이치코퍼레이션
-
모델 명
V SU28-D-EG-3S
내용연수5년
-
구분
주장비
용도시험
-
표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 열처리장치
-
취득일
2022-10-11
취득금액96,200,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태고정형
-
사용료 형태
시간별
장비 사용료[Hr] 100,000원
장비설명
○ 본 급속열처리장비는 중간매개체를 이용하여 소자를 다양한 재질의 웨이퍼에 열을 가하고 진공상태의 분위기에서 건식 방법으로 진행 할 수 있는 장비임.
○ 베치 타입 챔버형태를 사용하여 온도의 균일성이 높으며, Ar, N2, O2 가스를 이용한 공정이 가능하고, 높은 진공도 및 최대 700°C 까지 온도 상승이 가능한 장비임.
장비 구성 및 성능
(1) Heating chamber size : 200*200*100mm이상
(2) Heating method : IR (quartz IR lamp)
(3) Max temp : 700°C이상
(4) Ramp-up rate : 250°C이상/minute
(5) Ramp-down rate : 250°C이상/minute
(6) 온도편차 : 3%이하(@300°C)
(7) Using Gas : 02, Ar, N2
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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