아이브이솔루션
Keithley 4200A-SCS
10년
주장비
계측
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 달리 분류되지 않는 반도체장비
2021-10-08
52,824,910원
기관의뢰
고정형
시간별
20,000원
본 장비는 반도체 생산 및 공정 이후 반도체 장치, 소재 및 프로세스 개발에 대한 특성을 평가하는 장비로 wafer, 조각 형태의 시편을 정교하게 계측 가능한 장비임. 대표적으로 전류-전압, 누설 전류등을 계측할 수 있으며 다양한 파라미터를 계측할 수 있음.
1) Voltage Source
-Resolution : 5uV at 200mV Range
-Accuracy : 0.02%
2) Voltage Measure
-Resolution : 1uV at 200mV Range
-Accuracy : 0.012%
3) Current Source
-Range : ±1pA to ±100mA
-Resolution : 50pA at 1uA Range
4) Current Measure
-Range : ±1pA to ±100mA
-Resolution : 100aA at 1pA Range
5) 기본 탑재 소프트웨어에 포함된 사용자가 수정 가능한 수백 가지의 애플리케이션 테스트를 통하여 빠른 테스트 시작 기능.
6) 최대 9채널 확장 및 별도 기능의 모듈 장착 가능