동우옵트론(주)
Maple II mapping system
10년
주장비
계측
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 광학검사기
2021-11-09
115,579,440원
기관의뢰
고정형
시간별
40,000원
본 장비는 반도체 밴드갭 및 다양한 범위 200~1,050 nm 까지의 반도체에 대한 물성 분석을 가능한 시스템으로 독립적인 챔버를 갖고있어 특별한 암실 분위기를 요구하지 않기 때문에 어느 곳에서나 설치 가능한 것을 특징으로 하는 장비임.
Detecting range : 200 – 1,050 nm
System resolution : 0.045nm @1200gr/mm grating/ CCD resolution -0.08 nm @1800gr/mm grating
Spatial resolution : 1um/( other resolution available on request)
Detector : TE cooled high performance CCD/PMT /Phtodiode
Laser power control : 0.1% ~ 100 % ( up to 6 different power level and other level available on request)
Laser excitation : Deep UV ~ NIR ( up to 3 different source available)
Sample stage : XY Scanning stage
Vision : For Sample Image & Input beam position monitoring. Max. 1600x digital image CCD camera with IEEE 1394 interface
Automation(on request) : Software controlled laser rejection filter and Variable ND filter set to adjust input beam power Step motor scanning turret
Objective lens : Spectral range : 200 – 1700 nm, 10X, 50X & 100X Plan lenses
Beam spot size : <1 um @ 100X objective