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- i-Tube No. 2201-C-0156
- NTIS No
- 설치기관 충북대학교산학협력단
- 주소 충청북도 청주시 서원구 충대로 1 (개신동, 충북대학교)
- 담당자 박준영 (T. )
- 매뉴얼
-
온라인* 본 장비는 온라인 예약이 불가하오니 장비사용 예약과 관련해서는
예약가능여부
장비 보유기관에 직접 문의 주시기 바랍니다. (장비 예약은 Zeus 시스템에서 회원가입후 예약가능)
장비정보
-
제작사
코리아바큠테크
-
모델 명
제작(모델명없음)
내용연수12년
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구분
주장비
용도교육
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표준 분류
기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 원자층증착장비
-
취득일
2022-01-25
취득금액112,000,000원
- 인증정보
- 기능
- 장비 상세설명
이용안내
-
사용형태
기관의뢰
설치형태이동형
-
사용료 형태
기타
장비 사용료1,000원
장비설명
본 장비는 Passivation, Buffer, High-K 게이트 절연막 등 산화물 원자층 박막을 성장시키는 장비로서 추후 업그레이드를 통해 CVD 공정을 하나의 장치에서 수행할 수 있고 로드락챔버 및 광학측정장치를 설치할 수 있는 구조로 되어있다.
장비 구성 및 성능
∙ 증착기판크기 : 6인치
∙ 레서피에 의한 자동증착 공정 제어 / 인터락에 의한 안전 공정 제어
∙ Ultimate pressure : 5 Pa 이하
∙ Substrate heating temp. : Max. 700 ℃
∙ Deposition uniformity : std ±1% 이내
서울특별시 강남구 테헤란로 305 한국기술센터 2~7, 14층, 16~17층, 21층
TEL : 02-6009-3000 / i-Tube 대표문의: 1811-9126
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