1) Light Source Module
2) Microscope Module
3) Stage and Controller Module
4) Accessories
- Aiti vibration table 1ea
- Vacuum chuck 2ea
- Mask holder 2ea
- I-line filter 1ea
- H-line filter 1ea
- G-line filter 1ea
- 365nm Intensity probe 1ea
- Vacuum pump 1ea
7) Intensity 측정 가능하도록 컨트롤러 내 probe 연결이 되어야 한다.
8) 추후 나노패턴 공정이 가능하도록 Nanoimprint kit 장착 가능한 구조여야 한다.